真空镀膜系统

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

0-600℃有机热蒸发束源炉
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基片冷却系统
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基片升降旋转自动选片系统
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基片掩膜自动配选位系统
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