ATTO10-RSG 高真空电阻热蒸发&磁控溅射镀膜机&手套箱


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真空镀膜室

描述

材料:不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 5mm,所有焊缝连接均采用氩弧自动焊接技术;内表面镜面抛光,外表面三项处理。

尺寸: 400mm×400mm×450mm(W×H×D)

体积0.072m3
观察窗

门上配备玻璃观察窗(含防污染挡板),方便观察工作时的工作情况。

符合X射线防护国家标准

极限真空

≤6. 67x10-5pa (2×10-7Torr) (经烘烤除气后)

恢复真空时间

≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后)

接口标准接口三个(φ200),拓展安装ag亚游提现|开户泵和插板阀用;
预留标准接口四个(CF35),拓展功能用;
照明LED照明位于真空室侧部,方便观察真空室内部
泄漏率

检漏依据GB T 32218-2015对箱体进行检测,≤1x10-10PaL/s的标准进行最终验收测试。

真空系统
描述

采用 “ag亚游提现|开户泵+机械泵”高真空系统:

ag亚游提现|开户泵抽速:1200L/S,真正的准无油真空系统,采用下抽气,避免了ag亚游提现|开户泵的抽气弱点,提高了抽速;ag亚游提现|开户泵保修5年,提供损坏直接换新服务。
?* 可选择进口ag亚游提现|开户泵
真空泵

规格:旋片真空泵, ?配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量:36 m3/h (21 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3?mbar? 或干泵(可供选择)

* 可选配干式真空泵

工作电压AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A (可供选择)
抽速

从大气抽至9×10-4Pa≤30min(短时间暴露大气,冲入干燥氮气后开始抽气)

阀门

主阀:CC-200,高真空电气联动插板阀;

前级阀/旁路阀:GDQ-40高真空气动挡板阀;

真空测量

“两低一高”(两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空) 数显复合真空计,测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa;由PC显示和控制,可实现操作互锁联动。

* 可选配进口宽量程真空变送器

真空测量

部分采用金属密封,部分采用氟橡胶圈密封;

基片台
描述放置样品的载物台采用304不锈钢制造,基片置于蒸发源正上方(全自动升降功能),根据基片尺寸设计工装,方便用户固定样品。可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;
旋转采用步进电机控制驱动旋转,磁流体密封,电机和磁流体同轴,不会产生丢转、爬行等情况,步进电机控制精确,转速范围0-30rpm连续可调;
升降采用步进电机控制驱动旋转,磁流体密封,控制精确,高度范围0-100mm连续可调;
掩膜抽屉式结构,承载最大小于120×120mm 样品,配日本SMC气动基片挡板,电气联动全自动控制。

镀膜源

金属蒸发源

结构

采用水冷铜电极+蒸发舟结构, 蒸发源间均设有防污染隔板且每个源均配有定位挡板,智能PC控制;

蒸发温度室温0~1300℃

金属蒸发电源

输出功率

0~3000W ,电流通过逆变式调控,稳定可靠。电源功率在0~最大功率之间连续可调。

控制RS-485接口,电源功率在0-最大功率之间连续可调。

数量

2台,自动切换控制

有机蒸发源

结构

采用有机升华束源炉,每支蒸料可装 5CC,上部有挡热板,防止蒸发舟热量向上辐射,蒸发源之间设有防温度干扰装置(方便取放,方便清洗维护)。

蒸发温度PID智能温度控制,可加热至600℃,控温精度±1℃;
电源PID智能温控蒸发电源,带有蒸发源测温和功率调整系统,可以进行实时测温与控温,温度控制精度±1℃。

数量

2台

有机蒸发电源

输出功率

0~800W

控制RS-485接口,电源功率在0-最大功率之间连续可调。

数量

2台

2"永磁磁控溅射靶
? ? ? ? ? ? ? ?(靶材尺寸直径50.8mm)

结构

向心溅射,磁控靶与样品的距离90~140mm 可调,各靶有良好的水冷且DC/RF/MF兼容;

电动控制挡板组件:1套

配有屏蔽罩,以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用);

可折向上面的样品中心,靶与样品距离可调;

电源PID智能温控蒸发电源,带有蒸发源测温和功率调整系统,可以进行实时测温与控温,温度控制精度±1℃。

数量

2台

射频(RF)溅射电源

功率

0~600W

控制RS-485接口,电源功率在0-最大功率之间连续可调。

数量

2台

直流溅射电源

输出功率

0-1000W

控制RS-485接口,电源功率在0-最大功率之间连续可调。

数量

1台

直流偏压电源

描述

0~1000W

控制RS-485接口,电源功率在0-最大功率之间连续可调。

数量

1台

离子源

离子能量

40~200EV

离子速流1A以上
速流面积30度半角

数量

1台

控制系统
描述采用windows操作平台和cotrl2000控制系统,采用IPC+network技术,实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控,有自动和手动控制两种模式。除取放样品外,其它操作过程全部在PC上使用软件控制;提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面;在工控机上可通过配方设置参数,实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。
特点

能够有效解决镀膜的准确、稳定和可靠性。

完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护;系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

采用丰富I/O接口设计,充分满足扩展与外连设备的功能需求。

显示控制镀膜机的舱门开启/关闭。

镀膜工艺、工序、膜厚,方便并且保存打印。

膜厚监测、控制系统

描述采用石英晶振膜厚控制仪,水冷膜厚探头安装在基片台附近,工控机连接。膜厚仪用以实时监测镀膜速率和终厚,精度可达±1A(0.1nm),实时信息反馈给工控机 ,若镀膜达到设置厚度,可自动控制电源,停止镀膜,实现自控膜厚之目的。
范围监测厚度范围:1?~99μ9999?,分辨率1?;监测速率范围:0.1?~9999.9?.S/s,分辨率0.1?

特点

镀膜工艺、工序、膜厚设置均在PC上,可实现全过程自动化控制,可在PC上设定镀膜工艺,记录数据。

水冷系统

描述

冷却水路8进8出,总进水采用水压继电器控制。

总进水与出水接1P制冷循环水机,控温范围10–25 ℃。给靶、金属源、ag亚游提现|开户泵、磁流体提供稳定的制冷循环水,保证设备稳定运行。

选配设备

电子枪

电压

阴极电压8KV, 阴极加热电源AC 3V+3V, 60A可调

坩埚束流间冷坩埚0 ~ 500mA,直冷坩埚0 ~ 1A
坩埚容量为6 孔间冷4×17mL,6 孔直冷 4×22mL,环形直冷 85mL
坩埚定位( 四孔坩埚) 为电控自动或手动点控
坩埚冷却水进水温度≤ 25℃,进水压力≥ 0.2MPa,水流量≥ 8L/min

数量

1台

3"永磁控溅射靶(靶材尺寸D76.2mm)向心溅射,磁控靶与样品的距离90~110mm 可调,有良好的水冷且DC/RF/MF兼容
2"强磁控溅射靶(靶材尺寸D56.8mm)强磁设计,向心溅射,磁控靶与样品的距离90~110mm 可调,有良好的水冷且DC/RF/MF兼容
3"强磁控溅射靶(靶材尺寸D76.2mm)强磁设计,向心溅射,磁控靶与样品的距离90~110mm 可调,有良好的水冷且DC/RF/MF兼容
射频切换器设计1切换2的换挡档位功能(即1套电源可非同时供2套磁控溅射靶使用),换挡前后一般不需要调整电源除功率设定等之外的其它参数。

真空烘烤/除气

双加热器设计;

功率:1200 W;

安装法兰:CF35;

给真空腔体快速除气,提高真空度;

烘烤时间比烘烤炉和加热带短;

进样舱

开门结构,尺寸约为?200 X 300mm

真空系统:机械泵、ag亚游提现|开户泵、阀门

极限真空:≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后)。

恢复真空时间:30分钟可达到6. 6x10-3 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始)

腔室加热真空腔室配置加热系统,温度为200℃,控温±1℃
其他说明
产品认证

ISO9001认证、CE认证、UL认证

质保期一年质保期,终身维修
应用注意事项详情参阅说明书危险、警告、注意等条款
包装尺寸(W×D×H)?
重量?


北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、ag亚游提现|开户泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),ag亚游提现|开户泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

ATTO10-RSG 高真空电阻热蒸发&磁控溅射镀膜机&手套箱

适用于大多数研发应用磁控溅射源。间接冷却,夹紧式目标设计,集成阳极屏蔽组件,可以自调高低适用于中低功率,研发和小规模生产应用。这些溅射阴极的尺寸范围从一到四英寸,可以使用任何材料,具有卓越的目标利用率,并且可以由RFDC或脉冲直流电源驱动。

功能特点:

多工位手套箱净化防护系统

水氧含量≤0.1ppm

德国宝德电磁阀模块化设计,优良的密封性能

欧洲工艺要求

宽压力范围运行到10?-9?Torr

低排气

优异的薄膜均匀性和沉积速率

高效的溅射靶材利用率

优异的目标管理机制消除了对热膏,管理人员等的需要。

紧凑型,模块化磁体阵列

磁铁未暴露于真空磁铁未暴露于冷却水中

靶材更换期间,冷却水不会暴露在真空室内

不平衡的操作和带磁材料的容性是可用的

全系列配件(气,烟囱,百叶窗,集群阵列等)

定制溅射源配置可用